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工業(yè)生產(chǎn)中的零部件日趨小型化，同時(shí)對(duì)測(cè)量精度的要求也在不斷提高，MICURA正是針對(duì)這一全新需求定制的解決方案。MICURA采用蔡司VAST XT gold掃描探頭與navigator技術(shù), 可在主動(dòng)式掃描時(shí)獲得微米級(jí)的測(cè)量精度。它尤其適于測(cè)量用于光學(xué)和電子產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)復(fù)雜的小型工件。盡管采用緊湊型設(shè)計(jì)，系統(tǒng)卻具備500 x 500 x 500毫米的測(cè)量能力。

蔡司VAST XT gold探頭具有高速掃描功能，除可在極短時(shí)間測(cè)定幾何特征外，還可精準(zhǔn)測(cè)量及評(píng)定形狀誤差如圓度、平面度等特性。探針最小直徑僅為0.3毫米。